Kompressorer
Du hittar optimal prestanda med vårt sortiment av kompressorer
Världsstandard för tillförlitlighet och prestanda
CTI-Cryogenics är världsledande inom kryogen högvakuumteknologi. CTI bygger ett brett utbud av kryopumpar och kryopumpsystem utformade för att leverera exceptionell prestanda, tillförlitlighet och produktivitet.
Från våra enstaka kryopumpar som används i ett spektrum av högteknologiska forskningsapplikationer till våra sofistikerade kryopumpsystem som används vid tillverkning av halvledare, platta och optiska enheter, sätter CTI-Cryogenics världsstandarden för kryogen högvakuumteknologi
Edwards CTI-Cryogenics kompressorserie
Edwards CTI-Cryogenics erbjuder ett urval av kompressorer utformade för att ge optimal prestanda med inbyggda kryopumpar, Cryo-Torr kryopumpar och/eller inbyggda vattenpumpar
En integrerad kraftfrekvensomvandlare för kryopump säkerställer maximal kryopumpprestanda i både 50 och 60 Hz applikationer för alla Edwards vakuumpumpar.
8200-kompressor
- Utformad för att ge optimal prestanda med inbyggda Cryopumps, On-Board Waterpumps och Cryo-Torr Cryopumps, denna kompressor stöder alla pumpar upp till åtta tum stora. Eftersom 8200 är designad för flexibilitet kan du placera kompressorn där det är mest bekvämt för din systemdrift.
9600-kompressor
- Uttryckligen utformad för lång livslängd, hög tillförlitlighet och enkel användning, ger den här kompressorn enastående prestanda med alla Cryo-Torr Cryopumps, On-Board Cryopumps, On-Board Waterpumps och On-Board TurboPlus Vacuum Pumps. 9600 stöder både enkel- och grupperade pumpkonfigurationer och den är kompatibel med CTI-Cryogenics pumpinstallationer över hela världen.
9700A-kompressor
- Med ökad heliumeffekt är 9700A-kompressorn idealisk för drift av flera kryopumpar. I många applikationer med flera kryopumpar och vattenpumpar ger en 9700A-kompressor en enda kompressorlösning. 9700A-kompressorn, som minskar strömförbrukning, vattendistribution och fotavtryck jämfört med flera kompressorapplikationer, är kompatibel med Cryo-Torr® och On-Board® Cryopumps. IS-1000 Kompressor – Intelligent, högeffektiv kompressorteknik för IS-kryopumpar ombord.
IS-1000-kompressor
- IS-1000-kompressorn kommer att stödja upp till sex inbyggda IS-8F-kryopumpar i samma fotavtryck som en 9600-kompressor. IS-2000V-kompressor – Levererar lägsta strömförbrukning i alla faser av driften via kombinationen av högre tryck, rotationsteknik och anpassningsbar heliumtillförsel i linje med SEMI S-23-mål. IS-2000V ersätter två on-board IS-1000 kompressorer. Denna heliumkompressor med hög kapacitet är designad för att stödja On-Board IS Cryopump-applikationer. En integrerad kraftfrekvensomvandlare för kryopump säkerställer maximal kryopumpprestanda i både 50 och 60 Hz applikationer för alla Brooks vakuumpumpar.
