Gasreaktorkolonn (GRC)
Världens ledande system för säker användning av gasreducering

Speciellt utformad för att på ett säkert sätt ta bort farliga gaser från vakuumpumpens avgaser på halvledarprocesser.
GRC är en unik varmbäddsreaktor som kemiskt förstör giftiga gaser. Den behandlar det bredaste utbudet och blandningen av gaser i ett system utan att skapa nya problem med engångsavlopp. En egenutvecklad blandning av oorganiska granulat hålls i en svetsad patron av rostfritt stål. Detta hålls vid en förhöjd temperatur genom insättning i en rörformig elektrisk värmare. Farliga avgaser som passerar in i patronen reagerar kemiskt till färdigställandet och omvandlas till insatsstabila oorganiska salter.
- TORRT system, kan anslutas direkt till vakuumpumpens utlopp
- Ingen risk för återströmmande fukt
- Inga problem med desorption av giftiga gaser
- Fullständig kemisk omvandling av gaser till inerta stabila salter
- Bläckpatronbyte är enkelt och riskfritt
- Inget bränsle och lågor med tillhörande risk för att producera giftiga biprodukter
- Minsta serviceanslutningar som krävs Inloppsröret kan hållas vid 120 grader Celsius för att minska avsättningen av fasta partiklar